[发明专利]用于表面平坦化的方法和设备

摘要

本发明涉及用于表面平坦化的方法和设备。本文公开了用于将表面平坦化的技术。一个实例包括将样品的表面定向到带电粒子束轴，所述样品包括由第一和第二材料形成的第一层，所述第一材料图案化成多条平行线并且置于所述第二材料中，其中所述表面定向为与所述带电粒子束轴形成浅角，并将所述多条平行线垂直于所述带电粒子束轴排列；向所述表面提供带电粒子束；向所述表面提供气体；并用离子诱导的化学蚀刻选择性地向下蚀刻所述第二材料至少达到所述第一材料的顶面，由于所述带电粒子束和所述气体同时存在于所述样品表面上而刺激所述带电粒子诱导的蚀刻。

主权项

1.一种方法，其包括：/n将样品的表面定向到带电粒子束轴，所述样品包括第一层，所述第一层由第一材料和第二材料形成，所述第一材料不同于所述第二材料，图案化成多条平行线并置于所述第二材料中，其中所述第二材料的顶面形成所述表面，并且其中所述表面定向为与所述带电粒子束轴形成浅角，并将图案化成所述多条平行线的所述第一材料垂直于所述带电粒子束轴排列；/n沿带所述电粒子束轴向所述样品的表面提供带电粒子束；/n向所述样品的表面提供气体；并且/n通过离子诱导的化学蚀刻选择性地向下蚀刻所述第二材料至少达到所述第一材料的顶面，由于所述带电粒子束和所述气体同时存在于所述样品的表面上而刺激所述带电粒子诱导的蚀刻。/n