[发明专利]一种喷射增强真空系统有效

专利信息
申请号: 201910497691.3 申请日: 2019-06-10
公开(公告)号: CN112065688B 公开(公告)日: 2022-06-21
发明(设计)人: 李正宇;贾启明;龚领会;刘立强;朱伟平;张梅梅;苏惠坤 申请(专利权)人: 中国科学院理化技术研究所
主分类号: F04B37/14 分类号: F04B37/14;F04B41/06;F04F5/20;F25B9/08
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 曹卫良
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供的喷射增强真空系统,包括:真空泵单元、喷射器增强单元、冷箱及制冷单元,所述真空泵单元包括一级真空泵及二级真空泵,所述喷射器增强单元包括第一阀门、第二阀门、第三阀门、喷射器、第一压力计及第二压力计,所述制冷单元包括换热器、膨胀机及节流阀,本发明提供的喷射增强真空系统,在一级真空泵对冷箱抽空的同时,采用二级真空泵对制冷系统内部实现抽空,当制冷单元达到抽空目标,冷箱内部达到二级真空泵抽空要求时,关闭制冷系统与真空泵的连接阀,使二级真空泵开始对冷箱内部进行抽空,从而实现一级真空泵和二级真空泵同时抽空,并利用喷射器自身的引射效果,可以实现在抽空过程中,增加抽空能力与抽空效率。
搜索关键词: 一种 喷射 增强 真空 系统
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