[发明专利]一种蒸镀装置和蒸镀方法有效
| 申请号： | 201910500772.4 | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN110344002B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 孙晓午 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 吴国城 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种蒸镀装置和蒸镀方法，所述蒸镀装置包括镀膜室、设置于所述镀膜室底部，盛装且加热镀膜材料的坩埚以及设置于所述镀膜室顶部且与所述坩埚相对，夹持待镀膜产品的夹具。其中，所述镀膜室的底部设置有至少一个第一进气孔，所述镀膜室通过第一进气孔通入惰性气体，所述镀膜室设置有至少一个排气孔。蒸镀材料加热升华气化，从坩埚内扩散出来，然后被惰性气体带动快速的向待镀膜产品方向运动，镀膜的速度更快，生产效率高。在蒸镀材料气化运动过程中，惰性气体还可以将蒸镀材料混匀，使得蒸镀材料在镀在待镀膜产品前各区域的密度更一致，镀膜均一性好，成膜质量更好，精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：镀膜室；坩埚，设置于所述镀膜室底部，盛装且加热镀膜材料；以及夹具，设置于所述镀膜室顶部且与所述坩埚相对，夹持待镀膜产品；其中，所述镀膜室的底部设置有至少一个第一进气孔，所述镀膜室通过第一进气孔通入惰性气体；所述镀膜室还设置有至少一个排气孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司，未经惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910500772.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
