[发明专利]材料光学常数的确定方法、材料数据库的扩展方法及装置有效

专利信息
申请号: 201910500995.0 申请日: 2019-06-11
公开(公告)号: CN112067559B 公开(公告)日: 2023-06-13
发明(设计)人: 任梦昕;刘进超;张迪;许京军 申请(专利权)人: 南开大学
主分类号: G01N21/21 分类号: G01N21/21;G01N21/01
代理公司: 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 代理人: 刘诚
地址: 300071*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 本申请涉及一种材料光学常数的确定方法、材料数据库的扩展方法及装置。所述材料光学常数的确定方法,包括获取椭偏测试参数向量,利用机器学习模型得出与所述椭偏测试参数向量对应的材料光学常数。所述机器学习模型包括椭偏测试参数向量和材料光学常数之间的映射关系。所述材料光学常数的确定方法利用所述机器学习模型实现对椭偏测试参数向量的自动化拟合。所述材料光学常数的确定方法使用的机器学习模型计算出材料的光学常数,不再依赖实验人员的经验,降低了对操作人员的要求,并且计算材料的光学常数时加快了数据曲线的拟合速度、提高了运算效率。
搜索关键词: 材料 光学 常数 确定 方法 数据库 扩展 装置
【主权项】:
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