[发明专利]一种基于微悬臂转移的微球探针制备方法

摘要

本发明提供了一种基于微悬臂转移的微球探针制备方法，属于微纳米制造技术领域。本发明工艺简单，成本低廉，可以用于微纳加工或压痕力学特性等测试的微球探针的制备；本发明可以实现任意颗粒材料的灵活粘接，并且与任意受体平台任意匹配；悬臂在转移微球的同时能够充当传递层，增加微球与受体平台的接触面积，进而降低接触压力以减小受体平台的变形；通过微悬臂可以实现探针制备过程中微球在受体尖端的准确定位，且可以避免尺寸较小的微球在粘接时完全浸入胶水，污染微球探针表面。

主权项

1.一种基于微悬臂转移的微球探针制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将微球和粘合剂分别放置于硅片的第一预设区域和第二预设区域，所述硅片放置于样品台上；S2、在夹持装置上安装悬臂探针，移动所述样品台，使所述粘合剂位于所述悬臂探针正下方，向上移动所述样品台，在所述悬臂探针与粘合剂接触第一预设时间后，向下移动所述样品台使所述悬臂探针与粘合剂分离；S3、移动所述样品台，使所述微球位于所述悬臂探针正下方，向上移动所述样品台，在所述悬臂探针与微球接触第二预设时间后，向下移动所述样品台使所述悬臂探针与样品台分离，所述微球和悬臂探针粘合连接；S4、将所述悬臂探针上下翻转，使所述悬臂探针粘合连接有微球的一方向上，并将翻转后的所述悬臂探针安装在所述夹持装置上；S5、在受体平台的上方涂抹粘合剂，并将所述受体平台固定在所述样品台上，移动所述样品台使所述受体平台位于所述悬臂探针正下方，向上移动所述样品台，在所述悬臂探针与受体平台接触第三预设时间后，所述夹持装置与悬臂探针断开连接，向下移动所述样品台，使所述悬臂探针与受体平台粘合连接。