[发明专利]一种具有催化裂解功能的蒸发源

摘要

本发明提供了一种具有催化裂解功能的蒸发源，用于解决现有技术中单原子镀膜技术镀膜质量差、原料利用率低、能耗高的技术问题，包括：蒸发模块和催化裂解模块；其中，蒸发模块包括坩埚、加热件和支撑桶，坩埚内盛有待蒸发原料，支撑桶支撑坩埚和加热件，支撑桶设置开口；催化裂解模块包括催化管和蒸气导流件，催化管安装在蒸气导流件上，蒸气导流件安装在支撑桶上，蒸气导流件封闭开口；实施本发明的技术方案，设置催化裂解模块制备单原子蒸气，可获得高纯度单原子蒸气，提高原料利用率；蒸发模块和催化裂解模块独立加热，催化裂解模块设置隔热层，可以提高大原子团催化裂解效率并降低装置整体能耗。

主权项

1.一种具有催化裂解功能的蒸发源，其特征在于，包括：蒸发模块和催化裂解模块；其中，所述蒸发模块包括坩埚、加热件和支撑桶，所述坩埚内盛有待蒸发原料，所述支撑桶支撑所述坩埚和所述加热件，所述支撑桶设置开口；所述催化裂解模块包括催化管和蒸气导流件，所述催化管安装在所述蒸气导流件上，所述蒸气导流件安装在所述支撑桶上，所述蒸气导流件封闭所述开口。