[发明专利]薄膜太阳能电池的组合蒸发和溅射工具在审
| 申请号： | 201910501923.8 | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN110581074A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 杰弗里·S·布里特;斯科特·维德曼 | 申请（专利权）人： | 环球太阳能公司 |
| 主分类号： | H01L21/363 | 分类号： | H01L21/363;H01L31/18;C23C14/56;C23C14/34;C23C14/24 |
| 代理公司： | 11262 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陆建萍;杨明钊 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请涉及用于薄膜太阳能电池的组合蒸发和溅射工具。一种用于将光伏(PV)材料沉积到柔性衬底上的系统可以包括真空室，该真空室包括蒸发区和溅射区，使得柔性衬底可以通过真空室从放出辊传送到卷取辊。PV膜可以通过在蒸发区中的加热泻流源和在溅射区中的溅射来沉积到柔性衬底上。在一些例子中，加热台被使用来在进入区之一内之前清洁衬底。在一些例子中，硒回收反应器用于冷凝过量的硒以用于随后的去除。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 真空室 溅射区 蒸发区 溅射 薄膜太阳能电池 材料沉积 反应器 加热台 进入区 卷取辊 硒回收 冷凝 光伏 流源 沉积 去除 加热 蒸发 过量 清洁 申请 | ||
【主权项】：
1.一种用于将光伏材料沉积到柔性衬底上的装置，所述装置包括：/n真空室，其由外壁限定；/n一系列加热泻流源，其设置在所述真空室的第一部分中，所述真空室的第一部分被保持在小于0.001帕斯卡的第一压力水平处；/n溅射装置，其设置在所述真空室的第二部分中，所述真空室的第二部分被保持在大约1帕斯卡的第二压力水平处；/n第一真空隔离壁，其使所述真空室的所述第一部分与所述真空室的所述第二部分分离；以及/n卷材运送路径，其由放出辊、卷取辊和一系列辊限定在所述外壁内，所述卷材运送路径被配置成靠近所述一系列加热泻流源、通过在所述第一真空隔离壁中形成的第一传导槽并靠近所述溅射装置而将柔性衬底从所述放出辊传送到所述卷取辊。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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