[发明专利]一种DZ40M钴基高温合金零件表面及裂纹内部氧化膜绿色去除方法

摘要

本发明公开了一种DZ40M钴基高温合金零件表面及裂纹内部氧化膜绿色去除方法，将待去除氧化膜的零件放置在反应室中，反应室抽真空，并逐步升温；升温时，先通入氩气（Ar），当升温至760℃时，通入氢气（H₂），升温至1040℃左右后进行保温、保压；随后控制反应室压力造负压、常压和正压状态循环变化，反应室处于不同压力状态时，其内均持续通入氟化氢（HF）和H₂进行清洗；之后，按设定的时间持续通入H₂清洗管道；最后，将反应室压力降到133 mbar以下，在30 min±10 min内，将反应室温度升到1125℃±15℃，在该温度和压力下保温60 min±10 min，本发明能够有效去除零部件表面及裂纹内部、小孔、凹槽等难以清洗部位的氧化物、硫化物、氮化物、碳化物等化合物，清洗前后无需任何处理。

主权项

1.一种DZ40M钴基高温合金零件表面及裂纹内部氧化膜绿色去除方法，包括以下步骤：S1、预处理：将待去除氧化膜的零件放置在反应室中，反应室抽真空，并逐步升温；升温过程中，反应室内先通入Ar，当升温至760 ℃时，通入H₂，升温至1040 ℃左右后进行保温，反应室中Ar和H₂的压力均控制在2.0 bar ~2.4 bar；S2、清洗：控制反应室压力在负压、常压和正压状态循环变化，反应室处于负压、常压和正压不同状态时，其内均持续通入HF和H₂进行清洗；S3、后处理：完成步骤S2后，按设定的时间持续通入H₂，且反应室内保持常压；随后将反应室压力降到133 mbar以下，在30 min±10 min内，将反应室温度升到1125 ℃±15 ℃，在该温度和压力下保温60 min±10 min，最终实现DZ40M钴基高温合金零件表面及裂纹内部氧化膜的去除。