[发明专利]一种基于飞秒激光光刻技术的光波导隔离器的制作方法

摘要

本发明公开了一种基于飞秒激光光刻技术的光波导隔离器的制作方法，包括以下步骤：S1、将长方体形的磁旋光玻璃块的六个侧面均抛光，备用；S2、将磁旋光玻璃块置于飞秒激光光刻系统中，对磁旋光玻璃块进行加工，以在磁旋光玻璃块中沿其长度方向写入光波导；S3、搭建用于测量磁旋光玻璃中波导的旋光特性的检测装置；S4、将步骤S2中处理完的磁旋光玻璃块的长度方向的两端抛光，使得磁旋光玻璃块中的光波导贯穿磁旋光玻璃块，并在磁旋光玻璃块的光波导的两侧分别设置起偏器和旋转检偏器，磁旋光玻璃块及其两侧的起偏器和旋转检偏器构成光波导隔离器。本发明提供一种制作光波导隔离器的方法。

主权项

1.一种基于飞秒激光光刻技术的光波导隔离器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将长方体形的磁旋光玻璃块(1)的六个侧面均抛光，备用；S2、将所述步骤S1得到的所述磁旋光玻璃块(1)置于飞秒激光光刻系统中，对所述磁旋光玻璃块(1)进行加工，具体为，在所述磁旋光玻璃块(1)中沿其长度方向写入光波导；S3、搭建用于测量磁旋光玻璃中波导的旋光特性的检测装置，所述检测装置包括均沿纵向并从前至后依次设置的激光发射机构(3)、起偏器(4)、第一显微物镜(5)、波导(6)、第二显微物镜(7)、旋转检偏器(8)和探测器(2)，然后在沿纵向在所述波导(6)所在区域施加磁场强度为A的磁场，施加磁场前后所述旋转检偏器(8)的读数始终保持为零，得到施加磁场前后所述旋转检偏器(8)的角度差Δθ；S4、将所述步骤S2中处理完的所述磁旋光玻璃块(1)的长度方向的两端抛光，使得所述磁旋光玻璃块(1)中的光波导贯穿所述磁旋光玻璃块(1)，并在所述磁旋光玻璃块(1)的光波导的两侧分别设置起偏器(4)和旋转检偏器(8)，且所述起偏器(4)和旋转检偏器(8)之间的夹角为45°，在所述磁旋光玻璃块(1)所在区域施加磁场强度为的磁场，所述磁旋光玻璃块(1)及其两侧的起偏器(4)和旋转检偏器(8)构成所述光波导隔离器。