[发明专利]一种直角检测调节系统及方法有效
| 申请号： | 201910502680.X | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN110411377B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吴继清;黎浩;许海明 | 申请（专利权）人： | 湖北光安伦芯片有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G02B7/182 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 436000 湖北省鄂州市葛店*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体领域，涉及一种直角检测调节系统，包括激光器、激光接收屏、反射镜、载盘、旋转机构、移动装置以及用于调整晶圆并使其与所述反射镜垂直的调节机构；激光器、激光接收屏和旋转机构设置于水平工作台上；移动装置和反射镜均设置于旋转机构上。本发明还提供一种直角检测调节方法，1）将晶圆固定到载盘上，转动旋转台直至激光接收屏上的反射光与入射光重合；2）再水平旋转45度，读取激光接收屏上激光光斑的实际位置，判断晶圆与反射镜是否垂直；不垂直时，调节位于载盘两侧的调节螺母，直至晶圆与反射镜垂直。本发明的直角检测调节系统及方法可以检测晶圆与反射镜是否垂直，还可以调整晶圆使整个晶圆与反射镜垂直。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直角 检测 调节 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种直角检测调节系统，其特征在于：包括激光器、激光接收屏、反射镜、用于固定晶圆的载盘、用于带动载盘及反射镜水平转动的旋转机构、用于带动载盘移动的移动装置以及用于调整晶圆并使其与所述反射镜垂直的调节机构；所述激光器、所述激光接收屏和所述旋转机构均设置于水平工作台上；所述移动装置和所述反射镜均设置于所述旋转机构上；所述调节机构的一端与所述移动装置连接，另一端与所述载盘连接。
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