[发明专利]一种微电极制备方法及微电极有效
| 申请号： | 201910502849.1 | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN110216342B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 罗烽;徐斌;马将;伍晓宇;王蓓;龚峰;娄燕 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | B23H1/04 | 分类号： | B23H1/04 |
| 代理公司： | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司 44368 | 代理人： | 齐文剑 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种微电极制备方法及微电极，其中一种微电极制备方法包括：建立三维微电极的几何模型；将所述几何模型切片分层，得到二维分层数据；采用所述二维分层数据制作菲林；采用所述菲林对涂有感光层的铜箔片进行曝光和化学蚀刻处理，得到多个层片；将多个所述层片按照预设顺序叠放并放入真空加热炉加热焊接，得到目标微电极。采用化学蚀刻的方式加工各层铜箔，可一次性蚀刻出不同形状的铜箔片，操作简便，加工效率高，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微电极 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微电极制备方法，其特征在于，包括：建立三维微电极的几何模型；将所述几何模型切片分层，得到二维分层数据；采用所述二维分层数据制作菲林；采用所述菲林对涂有感光层的铜箔片进行曝光和化学蚀刻处理，得到多个层片；将多个所述层片按照预设顺序叠放并放入真空加热炉加热焊接，得到目标微电极。
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