[发明专利]一种柔性声表面波器件及制备方法在审
| 申请号： | 201910504148.1 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN110277976A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 吴化平;诸骏;刘振东;陈宇丹 | 申请（专利权）人： | 宁海县浙工大科学技术研究院 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 315600 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种柔性声表面波器件，包括叉指换能器、反射栅、压电层薄膜和柔性衬底，所述压电层薄膜位于柔性衬底上，所述叉指换能器、反射栅位于所述压电层薄膜上。一种柔性声表面波器件的制备方法，包括以下步骤：(1)先配置疏水处理溶液；(2)制备柔性衬底；(3)制备PVDF薄膜；(4)将步骤(3)所制备的PVDF薄膜贴附在步骤(2)所制备的柔性衬底上；(5)在步骤(3)所制备的压电薄膜上沉积金薄膜制备叉指换能器和反射栅。本发明制备方法简单，器件小巧，性能卓越，适应各种使用环境，拥有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 衬底 声表面波器件 叉指换能器 反射栅 压电层 薄膜 使用环境 疏水处理 压电薄膜 金薄膜 沉积 贴附 配置 应用 | ||
【主权项】：
1.一种柔性声表面波器件，其特征在于，所述器件包括叉指换能器、反射栅、压电层薄膜和柔性衬底，所述压电层薄膜位于柔性衬底上，所述叉指换能器、反射栅位于所述压电层薄膜上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁海县浙工大科学技术研究院，未经宁海县浙工大科学技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910504148.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
