[发明专利]散斑干涉与剪切散斑干涉的测量系统及测量方法在审
| 申请号： | 201910505285.7 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN110108223A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 王永红;赵琪涵;陈维杰;孙方圆;钟诗民 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 北京久诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11542 | 代理人： | 余罡 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种散斑干涉与剪切散斑干涉的测量系统及测量方法，涉及光学测试技术领域。其特征在于：包括激光器和分束镜，所述激光器发射的激光经所述分束镜分为透射光和反射光；所述透射光经扩束镜扩束后照射至被测物形成漫反射光，所述反射光依次经光纤、透镜和分光棱镜后作为参考光进入光路；所述被测物表面的漫反射光依次经光阑、成像透镜和迈克尔逊剪切装置后，获得具有剪切量的两束物光；所述具有剪切量的两束物光和光纤引入的参考光在CCD相机的靶面上干涉，形成散斑干涉图。本发明可对被测物进行散斑和剪切的同步动态检测，是一种无损、全场、高精度的测量系统。 | ||
| 搜索关键词： | 测量系统 散斑干涉 剪切散斑 漫反射光 被测物 参考光 反射光 分束镜 剪切量 透射光 物光 干涉 光纤 测量 透镜 光学测试技术 被测物表面 激光器发射 成像透镜 分光棱镜 剪切装置 同步动态 激光器 剪切 扩束镜 光阑 光路 扩束 散斑 无损 照射 激光 引入 检测 | ||
【主权项】：
1.一种散斑干涉与剪切散斑干涉的测量系统，其特征在于，所述测量系统包括：激光器(1)；分束镜(2)，所述激光器(1)发射的激光经所述分束镜(2)分为透射光和反射光；所述透射光经扩束镜(3)扩束后照射至被测物(4)形成漫反射光；所述反射光依次经光纤(10)、透镜(11)和分光棱镜(12)后作为参考光进入光路；所述被测物(4)表面的漫反射光依次经光阑(5)、成像透镜(6)和迈克尔逊剪切装置(9)后，获得具有剪切量的两束物光；所述具有剪切量的两束物光和光纤(10)引入的参考光在CCD相机(13)的靶面上干涉，形成散斑干涉图。
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