[发明专利]基于倏逝场的气体检测装置、基于倏逝场的气体检测方法在审
申请号: | 201910505891.9 | 申请日: | 2019-06-12 |
公开(公告)号: | CN110095467A | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | 曾祥龙;刘洪刚;郭安波;俞骁 | 申请(专利权)人: | 苏州诺联芯电子科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01N21/41;G01N21/55;G01N21/31;G01N21/01 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 孙凤 |
地址: | 215000 江苏省苏州市金鸡湖大道*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种基于倏逝场的气体检测装置及基于倏逝场的气体检测方法,基于倏逝场的气体检测装置,包括激光器、气体传感单元、滤波放大器、锁相放大器,所述气体传感单元包括光波导、将所述光波导输出的光转换为电信号的光电探测器;所述光波导包括传感区、设于所述传感区的谐振腔,所述谐振腔的谐振波长与目标气体的吸收波长一致;满足谐振要求的光进入所述谐振腔内后,被局限于所述谐振腔内,经过多次循环反射,在光未被辐射出谐振腔前,由于谐振腔的谐振干涉作用能够增大在所述谐振腔内的光的强度以及吸收光程,提高目标气体浓度检测的精度和灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 谐振腔 倏逝场 气体检测装置 光波导 气体传感单元 谐振 目标气体 气体检测 传感区 光电探测器 滤波放大器 锁相放大器 多次循环 浓度检测 吸收波长 谐振波长 激光器 光转换 灵敏度 吸收光 反射 局限 输出 辐射 干涉 | ||
【主权项】:
1.一种基于倏逝场的气体检测装置,包括激光器、气体传感单元、滤波放大器、锁相放大器,所述气体传感单元包括光波导、将所述光波导输出的光转换为电信号的光电探测器;其特征在于:所述光波导包括传感区、设于所述传感区的谐振腔,所述谐振腔的谐振波长与目标气体的吸收波长一致。
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