[发明专利]具备复合式探测系统的扫描电子显微镜和样品探测方法有效
| 申请号： | 201910507143.4 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN110376229B | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 李帅 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/203 | 分类号： | G01N23/203;G01N23/2206;G01N23/2252;G01N23/201;G01N23/20008;H01J37/28;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李梅香;张颖玲 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种具备复合式探测系统的扫描电子显微镜和样品探测方法，所述扫描电子显微镜包括：由浸没式磁透镜和电透镜组成的复合式物镜系统，用于将初始电子束聚焦到样品上形成会聚的束斑；位于所述复合式物镜系统中的复合式探测系统，以及探测信号放大和分析系统；浸没式磁透镜的磁场浸没到样品上；所述电透镜用于聚焦和减速初始电子束到样品上，以及将BSE从X射线的发射路径上分离；所述复合式探测系统位于所述浸没式磁透镜的内极靴的下方，且位于控制电极的上方，由同轴心的环形BSE探测器和环形X射线探测器组成；所述轴心为电子源所产生的电子束的主光轴中心；所述BSE探测器位于内圈，X射线探测器位于外圈。 | ||
| 搜索关键词： | 具备 复合 探测 系统 扫描 电子显微镜 样品 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具备复合式探测系统的扫描电子显微镜，其特征在于，包括：由浸没式磁透镜和电透镜组成的复合式物镜系统，用于将初始电子束聚焦到样品上形成会聚的束斑；位于所述复合式物镜系统中的复合式探测系统，以及探测信号放大和分析系统；其中，所述浸没式磁透镜的磁场浸没到样品上，极靴开口方向朝向样品；所述电透镜由所述复合式探测系统、样品、控制电极和电压源组成，用于聚焦和减速初始电子束到样品上，以及将背散射电子BSE从X射线的发射路径上分离；所述复合式探测系统位于所述浸没式磁透镜的内极靴的下方，且位于控制电极的上方，由同轴心的环形BSE探测器和环形X射线探测器组成；所述轴心为电子源所产生的电子束的主光轴中心；所述BSE探测器位于内圈，所述X射线探测器位于外圈。
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