[发明专利]等离子体放电状态监控方法及等离子体放电系统在审
| 申请号： | 201910507240.3 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN112087851A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 杨京;卫晶;韦刚 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体放电状态监控方法及等离子体放电系统，该方法包括：在电感耦合线圈上加载射频功率之后，获取所述电感耦合线圈的电压信号与电流信号；计算所述电压信号与所述电流信号的相位差；由所述相位差确定当前等离子体所处的放电状态。通过本发明，保障了半导体制程的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 放电 状态 监控 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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