[发明专利]一种金属掺杂多孔碳薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201910507474.8 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN110055506B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 汪爱英;王舒远;孙丽丽;张栋;柯培玲;郭鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/58;C23C14/32 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种金属掺杂多孔碳薄膜的制备方法。该方法通过物理气相沉积技术制备金属掺杂非晶碳薄膜，然后采用脱合金法，使用过硫酸铵溶液作为刻蚀液，对金属掺杂非晶碳薄膜进行选择性刻蚀，刻蚀掉一部分金属，得到金属掺杂的多孔碳薄膜。该方法无需高温条件，简单高效，可控性强，制得的金属掺杂薄膜中孔径在纳米尺寸，金属颗粒尺寸在纳米级别、粒径统一，在基体中分布均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 掺杂 多孔 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属掺杂多孔碳薄膜的制备方法，其特征是：包括如下步骤：(1)通过物理气相沉积技术制备金属掺杂非晶碳薄膜，所述金属是非碳化物形成相金属；(2)采用脱合金法，使用过硫酸铵溶液作为刻蚀液，对步骤(1)制得的金属掺杂非晶碳薄膜进行选择性刻蚀，刻蚀掉一部分金属，得到金属掺杂的多孔碳薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910507474.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多层钛膜及其制备方法
- 下一篇：一种基于多粒子沉积的低缺陷多腔体镀膜装置
- 同类专利
- 专利分类
