[发明专利]气体分压的在线测量装置及其在线测量方法

摘要

本发明涉及气体分压的在线测量装置及其在线测量方法，在线测量装置包括待测气源腔室，校准气源腔室，减压腔室，恒压腔室，真空计和质谱分析模块，其中第一进气阀门和减压腔室之间设有高压待测气体进样通道和中压待测气体进样通道，第一进气阀门和恒压腔室之间设有低压待测气体进样通道，第六进气阀门与减压腔室之间设有校准气体进样通道，减压腔室和恒压腔室之间设有气体流通通道，真空计用于测量上述四个腔室的真空度，质谱分析模块用于在线测量恒压腔室的气体；测量方法包括确定标样气体，洁净度检查，获取质谱计灵敏度，抽真空去除残余气体和气体分压的在线测量步骤。本发明的在线测量装置和方法，主要针对粗、低真空气体分析，根据待测气体压力而选择最优的进样通道，分压测量更加准确。

主权项

1.气体分压的在线测量装置，其特征在于，包括待测气源腔室(101)、校准气源腔室(102)、对进样气体分流的减压腔室、用于使进样气体的压力保持恒定的恒压腔室、真空计和质谱分析模块；其中，所述待测气源腔室(101)通过第一进气阀门(301)控制出气，所述校准气源腔室(102)通过第六进气阀门(306)控制出气，所述第一进气阀门(301)和所述减压腔室之间设有高压待测气体进样通道和中压待测气体进样通道，所述第一进气阀门(301)和所述恒压腔室之间设有低压待测气体进样通道，所述第六进气阀门(306)与所述减压腔室之间设有校准气体进样通道，所述高压待测气体进样通道、所述中压待测气体进样通道、所述低压待测气体进样通道和所述校准气体进样通道均各自设有一级进气阀门(302,304,305,307)，所述减压腔室和所述恒压腔室之间设有气体流通通道，所述气体流通通道内部设有二级进气阀门(303)；所述高压待测气体进样通道、所述中压待测气体进样通道和所述低压待测气体进样通道的各自内部的一级进气阀门与第一进气阀门(301)之间的区间共同连接第一抽气泵组(401)，所述第一抽气泵组(401)通过第一隔断阀门(501)控制接通，所述校准气体进样通道的第六进气阀门(306)和其内部的一级进气阀门之间的区间连接第三抽气泵组(403)，所述第三抽气泵组(403)通过第二隔断阀(502)控制接通；其中，所述真空计用于测量所述待测气源腔室(101)、所述校准气源腔室(102)、所述减压腔室和恒压腔室的真空度，且经过精确校准；所述质谱分析模块用于对所述恒压腔室内的进样气体进行在线测量。