[发明专利]基于柱面光栅的分光波导模块和集成光谱仪及制作方法在审
| 申请号： | 201910508202.X | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN110186563A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 聂荣志;孙屹伟;李巧;吴昌斌;储涛;彭波 | 申请（专利权）人： | 浙江溯源光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/18 | 分类号： | G01J3/18;G01J3/28;G01J3/44;G02B6/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市海宁市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于柱面光栅的集成光谱仪及其制作方法。光谱仪包括布置在一个箱体里的入射狭缝、分光波导模块和线阵探测器。分光波导模块包括平板波导和柱形出入射端、柱面光栅。基于柱面光栅的分光波导模块采用机械加工法和基于电子束3D灰度曝光光刻法结合整体加工而成。平板波导采用高折射率材料，能有效减少光谱仪的整体厚度，并能提高光谱仪的数值孔径，具有较高的光通量。使用3D灰度曝光光刻和刻蚀技术制作柱面光栅，可以制作几十纳米线宽的光栅，加工精度高、刻蚀后结构表面较为光滑，易于制作微型光谱仪。本发明具有高光通量、轻薄、高分辨率且系统更加紧凑、性能更稳定等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 柱面光栅 波导模块 分光 光谱仪 制作 集成光谱仪 平板波导 曝光光 灰度 电子束 高折射率材料 微型光谱仪 线阵探测器 光栅 高分辨率 高光通量 机械加工 结构表面 刻蚀技术 入射狭缝 数值孔径 有效减少 整体加工 光通量 纳米线 轻薄 刻蚀 柱形 光滑 紧凑 加工 | ||
【主权项】：
1.基于柱面光栅的分光波导模块，其特征在于，所述分光波导模块包括光波导单元和光栅分光单元，所述光波导单元包括平板波导（7）和柱形出入射端（2），所述光栅分光单元包括柱面光栅（4），所述柱面光栅（4）和柱形出入射端（2）分别设置在所述平板波导（7）的两端，且与所述平板波导（7）为一体式结构；所述柱面光栅（4）的表面镀有高反膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江溯源光科技有限公司，未经浙江溯源光科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910508202.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
