[发明专利]一种基于DLP技术的傅里叶变换光谱仪

摘要

本发明涉及一种基于DLP技术的傅里叶变换光谱仪，属于光学物质测量技术领域。包括光源、第一透镜、第一DMD芯片、分光补偿模块、平面反射镜、倾角反射镜、第二透镜、光电探测器、模数转换器和控制处理器；光源发出的入射光能够依次经第一透镜透射、第一DMD芯片反射到达分光补偿模块处，该分光补偿模块用于无色散地将入射光分为两束分光，其中一束分光能够依次经平面反射镜、分光补偿模块、第二透镜的反射或透射到达光电探测器处，另一部分能够依次经倾角反射镜、分光补偿模块、第二透镜的反射或透射到达光电探测器处。本发明能够获得准确清晰的光谱图，提高最终光谱仪的测量精度。

主权项

1.一种基于DLP技术的傅里叶变换光谱仪，其特征在于， 包括光源、第一透镜、第一DMD芯片、分光补偿模块、平面反射镜、倾角反射镜、第二透镜、光电探测器、模数转换器和控制处理器；光源发出的入射光能够依次经第一透镜透射、第一DMD芯片反射到达分光补偿模块处，该分光补偿模块用于无色散地将入射光分为两束分光，其中一束分光能够依次经平面反射镜、分光补偿模块、第二透镜的反射或透射到达光电探测器处，另一束分光能够依次经倾角反射镜、分光补偿模块、第二透镜的反射或透射到达光电探测器处；倾角反射镜的镜面方向与入射向其镜面的光路方向呈设定角度，用于使两束分光形成光程差；控制处理器通过模数转换器与光电探测器连接，用以获取干涉图像；控制处理器还与第一DMD芯片连接，用以控制微镜阵列的摆动。