[发明专利]一种基于白光零差干涉的高灵敏表面形貌测量系统

摘要

本发明提供一种基于白光零差干涉的高灵敏表面形貌测量系统，其包括白光光源(1)、第一透镜(2)、第二透镜(3)、第一分光镜(4)、第二分光镜(5)、参考镜(6)、被测物(7)、闭环PZT(8)、反射镜(9)、第三分光镜(10)、第一光电探测器(11)、第二光电探测器(12)、频谱分析仪(13)和计算机(14)。本发明结构简单，利用白光光谱很宽，相干长度短的特点，且干涉零级条纹具有较好的对比度，其光强值也明显大于其它条纹。一次干涉后是暗条纹或亮条纹，斜率为零。经过二次干涉(零差探测)，斜率达到最大，以此来提高灵敏度。其中使用的闭环PZT可起到反馈的作用，减小外界的干扰，具有重要的应用价值。

主权项

1.一种基于白光零差干涉的高灵敏表面形貌测量系统，其特征在于：包括白光光源(1)、第一透镜(2)、第二透镜(3)、第一分光镜(4)、第二分光镜(5)、参考镜(6)、被测物(7)、闭环PZT(8)、反射镜(9)、第三分光镜(10)、第一光电探测器(11)、第二光电探测器(12)、频谱分析仪(13)和计算机(14)；所述白光光源(1)产生的白光经过第一透镜(2)和第二透镜(3)产生平行光，通过第一分光镜(4)，一路反射出去，另一路按原路透射，透射光经过第二分光镜(5)，一路反射到闭环PZT(8)，一路透射到参考镜(6)，经过闭环PZT(7)和参考镜(6)的两束光经过反射后按原路返回，两路反射光在第二分光镜(5)产生一次干涉；一次干涉的两路干涉分别经过第一分光镜(4)和反射镜(9)之后到第三分光镜(10)，产生二次干涉；二次干涉的两路干涉信号分别通过第一光电探测器(11)、第二光电探测器器(12)进行检测，所得两路干涉信号采集结果相减后送入分析仪(13)；计算机(14)分别连接闭环PZT(8)、白光光源(1)和分析仪(13)。