[发明专利]一种晶圆材料比磨削能的估算方法

摘要

一种晶圆材料比磨削能的估算方法，所述方法包括以下步骤：1)构建晶片端面磨削模型，将砂轮安装在磨削主轴上，晶片安装在真空吸盘上，在端面磨削期间，砂轮和晶片同时围绕它们各自的中心自转，砂轮和晶片的自转中心是偏心的，同时砂轮沿着垂直轴线向晶片做进给运动；2)比磨削能J是去除单位体积材料所需要的能量，比能通过公式(1)估算。本发明提供一种晶圆材料比磨削能的估算方法，该方法能较为准确地估算出晶圆材料的比磨削能。

主权项

1.一种晶圆材料比磨削能的估算方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：1)首先构建晶圆端面磨削模型，将砂轮安装在磨削主轴上，晶圆安装在真空吸盘上，在磨削期间，砂轮和晶片同时围绕它们各自的中心自转，砂轮和晶片的自转中心是偏心的，同时砂轮沿着垂直轴线向晶片进给运动；2)比磨削能J是去除单位体积材料所需要的能量，比磨削能通过以下公式估算：其中，Q是单位时间磨削主轴消耗的功率，V是单位时间晶圆材料去除量，V由下列公式计算得：其中，r是晶圆半径，f是主轴的进给速率；将方程(2)代入方程(1)，得公式(3)：其中，单位时间主轴消耗的功率Q从实验过程中直接得到，所以晶圆材料比磨削能可以从上面方程式中计算出来；通过将主轴中的电流I用模拟/数字转换器记录在电脑中，单位时间消耗的功率Q通过以下公式计算：Q＝U×a×数值  (4)其中，数值是模拟/数字转换器记录的电流值，a是主轴生产商定义的记录电流值与实际电流值的换算系数，U是机床的电压值，通过这个公式将磨削主轴上的记录电流值转换成所需的功率值。