[发明专利]曝光方法、曝光设备、以及制造物品的方法有效
| 申请号： | 201910513151.X | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110609449B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 淡路川智纪;星野勇人;樱川宽大 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 白皎 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在扫描由台保持的原版的同时经由所述原版曝光基板的曝光方法，其包括：执行在使得最大加速度变成第一加速度的状态下扫描驱动所述台的第一步骤；以及在执行所述第一步骤之后，执行在曝光所述基板的同时在使得所述最大加速度变成第二加速度的状态下扫描驱动所述台的第二步骤，其中，所述第一加速度低于所述第二加速度。本发明还提供了一种曝光设备和提供物品的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 方法 设备 以及 制造 物品 | ||
【主权项】：
1.一种曝光方法，所述曝光方法在扫描由台保持的原版的同时经由所述原版曝光基板，所述曝光方法包括：/n执行在使得最大加速度变成第一加速度的状态下扫描驱动所述台的第一步骤；以及/n在执行所述第一步骤之后，执行在曝光所述基板的同时在使得所述最大加速度变成第二加速度的状态下扫描驱动所述台的第二步骤，/n其中，所述第一加速度低于所述第二加速度。/n
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