[发明专利]一种在刀具上采用高熵合金镀膜的方法在审
| 申请号： | 201910516864.1 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110295347A | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 万松峰;刘炽华;王康;丁佳伟 | 申请（专利权）人： | 东莞职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/35;C22C30/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 赵东明;熊思远 |
| 地址： | 523808 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种刀具上采用高熵合金镀膜的方法，包括有以下制备步骤：制备AlCrNbSiTiV高熵合金靶材；刀具基材进行超声波清洗；步骤三、刀具基材采用氧气电浆进行蚀刻；步骤四、将刀具基材进行预镀清除靶材表面杂质和氧化层；步骤五、向溅镀设备腔体内通入保护气体氩气和反应气体氮气，当溅镀设备腔体内气体压力稳定0.5h后，在溅射功率200W、氮氩气流量比30％、基材偏压‑100V、沉积温度200℃的条件下，在刀具基材上溅镀薄膜，25min后关闭电源及气体，刀具基材自然冷却后取出。本发明可以用于制备同时具有强耐氧化、高硬度、低摩擦系数和高耐磨寿命的综合性能优良的刀具。 | ||
| 搜索关键词： | 刀具 基材 高熵合金 制备 溅镀设备 镀膜 反应气体氮气 蚀刻 超声波清洗 低摩擦系数 氩气 靶材表面 保护气体 关闭电源 基材偏压 溅射功率 体内气体 压力稳定 氧气电浆 综合性能 氩气流量 高耐磨 高硬度 耐氧化 氧化层 靶材 溅镀 预镀 沉积 薄膜 取出 体内 | ||
【主权项】：
1.一种刀具上采用高熵合金镀膜的方法，其特征在于，包括有以下制备步骤：步骤一、采用真空电弧熔炼法制备AlCrNbSiTiV高熵合金靶材；步骤二、将刀具基材采用超声波进行清洗；步骤三、将刀具基材放入溅镀设备腔体，并采用氧气电浆的形式对刀具基材表面进行蚀刻；步骤四、将刀具基材和靶材放入溅镀设备腔体，向溅镀设备腔体内通入氩气作为保护气，然后进行预镀清除靶材表面杂质和氧化层；步骤五、向溅镀设备腔体内通入保护气体氩气和反应气体氮气，当溅镀设备腔体内气体压力稳定0.5h后，在溅射功率200W、氮氩气流量比30％、基材偏压‑100V、沉积温度200℃的条件下，在刀具基材上溅镀薄膜，25min后关闭电源及气体，刀具基材自然冷却后取出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞职业技术学院，未经东莞职业技术学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910516864.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
