[发明专利]射频板条CO2激光器条形光束柱面镜整形的自适应系统

摘要

本发明公开了射频板条CO₂激光器条形光束柱面镜整形的自适应系统，包括：反馈模块、输出镜、输出窗口镜、转折镜、第一球面镜、空间滤波器、柱面镜和第二球面镜，激光光束从射频板条CO₂激光器的平行电极中射出，依次经过输出镜、输出窗口镜、转折镜、第一球面镜、空间滤波器和柱面镜，所述柱面镜将激光光束反射至第二球面镜，第二球面镜将激光光束射出，其中，所述柱面镜设置有带动柱面镜的反射面运动的调节整形系统，所述调节整形系统包括：X轴连杆、Y轴连杆、Z轴连杆和夹具。本系统通过柱面镜适应调节，确保输出光束指向性和光斑形状。对射频板条CO₂激光器光路热畸变导致的整形系统光路偏移和失调进行补偿。主要用于激光技术领域。

主权项

1.射频板条CO₂激光器条形光束柱面镜整形的自适应系统，其特征在于，包括：反馈模块、输出镜、输出窗口镜、转折镜、第一球面镜、空间滤波器、柱面镜和第二球面镜，激光光束从射频板条CO₂激光器的平行电极中射出，依次经过输出镜、输出窗口镜、转折镜、第一球面镜、空间滤波器和柱面镜，所述柱面镜将激光光束反射至第二球面镜，第二球面镜将激光光束射出，其中，所述柱面镜设置有带动柱面镜的反射面运动的调节整形系统，所述调节整形系统包括：X轴连杆、Y轴连杆、Z轴连杆和夹具，所述夹具夹持着柱面镜，以夹具的中心点建立空间直角坐标系，夹具的X轴侧与X轴连杆的一端连接，夹具的Y轴侧与Y轴连杆的一端连接，夹具的Z轴侧与Z轴连杆的一端连接，所述X轴连杆的另一端、Y轴连杆的另一端和Z轴连杆的另一端均固定，所述X轴连杆上设有带动所述X轴连杆沿X轴方向移动的第一微位移驱动器，所述Y轴连杆上设有带动所述Y轴连杆沿Y轴方向移动的第二微位移驱动器，所述Z轴连杆上设有带动所述Z轴连杆沿Z轴方向移动的第三微位移驱动器，所述Z轴连杆上还设有带动所述Z轴连杆沿其轴线转动的旋转驱动器，所述反馈模块的输出端分别与第一微位移驱动器、第二微位移驱动器、第三微位移驱动器和旋转驱动器连接，所述反馈模块用于对第二球面镜输出的光束进行四象限检测，并根据检测结果控制第一微位移驱动器、第二微位移驱动器、第三微位移驱动器和旋转驱动器，以对输出的光束进行整形准直。