[发明专利]一种高沸点有机物废气的处理方法及其处理设备在审
| 申请号： | 201910520016.8 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN110215800A | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 秦学礼;林东安;张群;徐刚;彭定志;孙孝宏 | 申请（专利权）人： | 世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D53/14 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100142 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及废气处理技术领域，公开了一种高沸点有机物废气的处理方法及其处理设备，其中，处理方法包括：对进风温度为常温的高沸点有机物废气进行冷凝处理，以对废气中的有机物进行冷凝收集；对冷凝处理后的高沸点有机物废气进行淋洗处理，对经冷凝处理后气体中的有机物中能溶于水的成分进行清除。本申请公开的高沸点有机物废气的处理方法，能够高效、稳定地处理光刻胶剥离工序生产过程中产生的高沸点有机物，达到减少大气污染，保护环境的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 高沸点有机物 废气 冷凝处理 处理设备 有机物 废气处理技术 剥离工序 冷凝收集 生产过程 进风 淋洗 申请 | ||
【主权项】：
1.一种高沸点有机物废气的处理方法，其特征在于，包括：对进风温度为常温的高沸点有机物废气进行冷凝处理，以对废气中的有机物进行冷凝收集；对冷凝处理后的所述高沸点有机物废气进行淋洗处理，对经冷凝处理后气体中的有机物中能溶于水的成分进行清除。
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