[发明专利]一种可调带隙的声表面波器件在审
申请号: | 201910520394.6 | 申请日: | 2019-06-17 |
公开(公告)号: | CN110289828A | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 诸骏;吴化平;陈宇丹;刘振东 | 申请(专利权)人: | 宁海县浙工大科学技术研究院 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/17 |
代理公司: | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人: | 王利强 |
地址: | 315600 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种可调带隙的声表面波器件,包括压电薄膜、薄膜上的叉指电极和柔性声子晶体贴片,所述叉指电极位于薄膜的两侧,所述柔性声子晶体贴片位于薄膜的中部,所述柔性声子晶体贴片采用二维声子晶体,基体PDMS的硬度和二维周期结构排列下的声子晶体带隙之间的函数关系,从而定量的达到人为控制声子晶体带隙的目的;通过改变声子晶体带隙实现调节声表面波器件的带隙。本发明能解决不重新制备也能调节声表面波器件的带隙的目的,从而降低实验成本。 | ||
搜索关键词: | 带隙 声子晶体 声表面波器件 贴片 薄膜 叉指电极 可调 二维声子晶体 二维周期结构 函数关系 人为控制 实验成本 压电薄膜 制备 | ||
【主权项】:
1.一种可调带隙的声表面波器件,其特征在于,所述器件包括压电薄膜、薄膜上的叉指电极和柔性声子晶体贴片,所述叉指电极位于薄膜的两侧,所述柔性声子晶体贴片位于薄膜的中部,所述柔性声子晶体贴片采用二维声子晶体,该声子晶体XY模式下的波动方程为:ρ(r)uxy(r,t)=[λ(r)+μ(r)]▽▽·uxy(r,t)+μ(r)▽2uxy(r,t)其中,ρ(r)为该材料的密度参数,λ(r),μ(r)分别为拉梅第一参数和拉梅第二参数,它们统称为材料参数;uxy(r,t)表示在位置矢量r下的位移函数,t表示时间分量,下标x、y表示位移,仅与x、y坐标有关;▽是矢量微分算符,▽2是二阶矢量微分算符,也叫拉普拉斯算符;通过该公式得出基体PDMS的硬度和二维周期结构排列下的声子晶体带隙之间的函数关系,从而定量的达到人为控制声子晶体带隙的目的;通过改变声子晶体带隙实现调节声表面波器件的带隙。
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