[发明专利]下电极装置及相关等离子体系统有效
申请号: | 201910521113.9 | 申请日: | 2019-06-17 |
公开(公告)号: | CN112103163B | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 王桂滨;韦刚 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 沈锦华 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种应用于等离子体系统的下电极装置。所述等离子体系统具有下部电极、环绕所述下部电极设置的环形电极以及耦接至所述下部电极的射频源。所述下电极装置包括电场供应电路,所述电场供应电路的一端耦接至所述环形电极,所述电场供应电路的另一端选择性地耦接至所述射频源或所述接地端,当所述等离子体起辉后,所述电场供应电路用于选择性地将所述环形电极耦接至所述接地端或所述射频源,来调节所述工作件边缘上方的电场分布,进而调节工作件(如晶圆)边缘等离子体鞘层的弯曲情况,最终有效解决工作件边缘工艺结果倾斜的问题。 | ||
搜索关键词: | 电极 装置 相关 等离子体 系统 | ||
【主权项】:
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