[发明专利]下电极装置及相关等离子体系统有效

专利信息
申请号: 201910521113.9 申请日: 2019-06-17
公开(公告)号: CN112103163B 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 王桂滨;韦刚 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 沈锦华
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种应用于等离子体系统的下电极装置。所述等离子体系统具有下部电极、环绕所述下部电极设置的环形电极以及耦接至所述下部电极的射频源。所述下电极装置包括电场供应电路,所述电场供应电路的一端耦接至所述环形电极,所述电场供应电路的另一端选择性地耦接至所述射频源或所述接地端,当所述等离子体起辉后,所述电场供应电路用于选择性地将所述环形电极耦接至所述接地端或所述射频源,来调节所述工作件边缘上方的电场分布,进而调节工作件(如晶圆)边缘等离子体鞘层的弯曲情况,最终有效解决工作件边缘工艺结果倾斜的问题。
搜索关键词: 电极 装置 相关 等离子体 系统
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司,未经北京北方华创微电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910521113.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code