[发明专利]一种定向发射且可调控的极化激元发光器件及其制造方法有效
| 申请号： | 201910521477.7 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN110289345B | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 尤洁;江天;罗玉昆;郑鑫;唐宇翔;殷科;杨杰;张江华;王振宇;于亚运 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军军事科学院国防科技创新研究院 |
| 主分类号： | H01L33/44 | 分类号： | H01L33/44;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王文思 |
| 地址： | 100071 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种定向发射且可调控的极化激元发光器件及其制造方法，在衬底上形成金属薄膜，在金属薄膜上形成隔离层，在隔离层上形成TMDCs层，在TMDCs层上形成介质层，且介质层为周期性光栅结构。其中，由金属薄膜、隔离层和介质层组成的光学微腔的光子模式的谐振峰与TMDCs层的激子峰的波长相等，使得TMDCs层的激子、银薄膜的表面等离子体激元模式SPP和介质层的波导传播模式产生强耦合作用，形成激子‑极化激元，并且提高量子产率。由于耦合作用增强，实现了对激子‑极化激元超快动力学的调控，使得在入射光入射角度不为零度的情况下也能产生出射光，并通过调节入射角度调控出射光的出射角度，实现出射光的定向发射。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 定向 发射 调控 极化 发光 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种定向发射且可调控的极化激元发光器件，其特征在于，包括衬底、金属薄膜、隔离层、TMDCs层和介质层；所述金属薄膜在所述衬底上形成，所述隔离层在所述金属薄膜上形成，所述TMDCs层在所述隔离层上形成，所述介质层在所述TMDCs层上形成，且所述介质层为光栅结构；其中，由所述金属薄膜、所述隔离层和所述介质层组成的光学微腔的光子模式的谐振峰与所述TMDCs层的激子峰的波长相等；通过调节入射到所述极化激元发光器件中入射光的入射角度调控所述极化激元发光器件的出射光的出射角度，实现出射光的定向发射。
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