[发明专利]一种硅基超材料多模弯曲波导及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910522492.3 申请日: 2019-06-17
公开(公告)号: CN110221384B 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 张敏明;常卫杰;刘德明 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: G02B6/10 分类号: G02B6/10;G02B6/12;G02B1/00
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 曹葆青;李智
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种硅基超材料多模弯曲波导及其制备方法,多模弯曲波导包括多模输入波导,多模输出波导和超材料波导,多模输入波导与多模输出波导都可以支持多个模式,超材料波导由N×N个同等大小的像素块组成,对像素块进行打孔,形成特殊的通孔阵列,利用超材料波导在亚波长尺寸内的折射率调控能力,进行波前相位调控。超材料亚波长尺寸的通孔阵列的排布可以等效为非对称Y分支结构,将高阶模先转化成基膜,实现超小半径90度偏转传输,再转换成相应的高阶模,从而实现小尺寸多模弯曲波导。因此解决了超小尺寸的弯曲波导的模式失配问题,减小器件的插损,提升多模弯曲波导的性能。
搜索关键词: 一种 硅基超 材料 弯曲 波导 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种硅基超材料多模弯曲波导,其特征在于,包括多模输入波导、多模输出波导和所述多模输入波导与所述多模输出波导之间的超材料波导;所述超材料波导由N×N个同等大小的像素块组成;其中,N为正整数。
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