[发明专利]工件传输系统、工件传输方法及激光退火设备在审
| 申请号： | 201910522660.9 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN112103206A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;董洪波;王刚;张向飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工件传输系统、工件传输方法及激光退火设备，该工件传输系统用于在工件存储器、预处理机构和工件台之间传输工件，该工件传输系统包括：传输机械手、厂务气源、备用气源和管路，传输机械手在工件存储器、预处理机构和工件台之间传输工件，传输机械手通过管路连接厂务气源，传输机械手被配置为能够在厂务气源出现异常后使工件处于安全工位；备用气源与厂务气源并联设置，备用气源被配置为在厂务气源出现异常时为传输机械手供气。上述的工件传输系统能够保证工件传输过程中不会因厂务气源出现异常而发生掉落或损坏，有利于提高激光退火工艺效率，节约激光退火工艺成本。相应地，本发明还提供一种工件传输方法及激光退火设备。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 传输 系统 方法 激光 退火 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
