[发明专利]超构材料非制冷红外焦平面多色偏振探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种超构材料非制冷红外焦平面多色偏振探测器及其制备方法，探测器包括阵列排列的多个探测器像素单元，像素单元包括基底结构、微桥结构和超构材料吸收体结构；基底结构包括硅衬底和第一金属电极层；微桥结构包括支撑层、热敏层、第二金属电极层和钝化层；超构材料吸收体结构包括金属底层、介质层和金属阵列层，金属阵列层包括若干个依次排列的金属阵列；其中相邻两行两列的四个所述像素单元为一个像元，每个像元中的多个像素单元的结构相同，相互之间通过旋转得到。本发明利用超构材料吸收体中表面等离激元共振现象引起的共振波长处光的强烈吸收以及其结构固有的偏振选择特性，实现了不同波段的偏振探测。

主权项

1.一种超构材料非制冷红外焦平面多色偏振探测器，其特征在于，包括阵列排列的多个探测器像素单元，所述像素单元包括基底结构、微桥结构和超构材料吸收体结构；所述基底结构包括包含读出电路的硅衬底和设置在所述硅衬底上的第一金属电极层；所述微桥结构包括支撑层、热敏层、第二金属电极层和钝化层，用于构成非制冷红外焦平面；所述超构材料吸收体结构包括设在所述钝化层之上的金属底层、设在所述金属底层之上的介质层和设在所述介质层之上的金属阵列层，所述金属阵列层包括若干个依次排列的金属阵列，实现对红外波段的偏振选择和对红外波段的波长选择；其中相邻两行两列的四个所述像素单元为一个像元，每个所述像元中的多个所述像素单元的结构相同，相互之间通过旋转得到。