[发明专利]一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法有效
申请号: | 201910523601.3 | 申请日: | 2019-06-17 |
公开(公告)号: | CN110346294B | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 周鹏;徐科;王磊;杨朝霖 | 申请(专利权)人: | 北京科技大学 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/88 |
代理公司: | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人: | 张仲波 |
地址: | 100083*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法,属于表面缺陷检测技术领域。该系统包括多光谱线扫描相机、光源阵列和传送机构,多光谱线扫描相机位于传送机构上方,且扫描线垂直传送机构,光源阵列位于多光谱线扫描相机和传送机构之间。该方法采用多个方向照明光源覆盖细微划伤缺陷的显像扇区,使亚像素大小的细微划伤缺陷清晰成像;采用多光谱线扫描相机扫描成像,实现动态检测;检测算法排除了镜面光斑的影响,适用于对含曲面的面板进行划伤检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 面板 细微 划伤 缺陷 扫描 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统,其特征在于:包括多光谱线扫描相机(1)、光源阵列(Ai)和传送机构(2),多光谱线扫描相机(1)位于传送机构(2)上方,且多光谱线扫描相机(1)的扫描线垂直传送机构(2)运动方向,光源阵列(Ai)位于多光谱线扫描相机(1)和传送机构(2)之间,传送机构(2)上放置被测面板(3)。
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