[发明专利]一种TA15合金表面抗冲蚀磨损CrAlN-CrAl涂层及其制备方法有效
申请号: | 201910525285.3 | 申请日: | 2019-06-18 |
公开(公告)号: | CN110257787B | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 缪强;赵子龙;梁文萍;林浩;亓艳;马海瑞;孙自旺;李阳;黄朝军;易锦伟 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/16 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 殷星 |
地址: | 210000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种TA15合金表面抗冲蚀磨损CrAlN‑CrAl涂层及其制备方法。该涂层是指在TA15合金表面采用射频磁控溅射技术依次沉积CrAl中间层和CrAlN沉积层,所述CrAlN沉积层的厚度为3~5μm;所述CrAl中间层的厚度在5~10μm,其中,CrAlN沉积层中Cr和N含量随着与CrAlN涂层的表层距离增加而降低,Al含量则是从CrAlN涂层的表层向TA15合金方向先增加后减小。利用本发明方法制备的涂层与合金具有良好的结合力,在改善基体抗冲蚀磨损性的同时也使改性层与基体具有良好的结合能力,避免涂层在服役过程中发生脱落,从而起到保护工件,延长工件寿命的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 ta15 合金 表面 冲蚀 磨损 craln cral 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种TA15合金表面抗冲蚀磨损CrAlN‑CrAl涂层,其特征在于,在TA15合金表面采用射频磁控溅射技术依次沉积CrAl中间层和CrAlN沉积层,所述CrAlN沉积层的厚度为3~5μm;所述CrAl中间层的厚度在5~10μm,其中,CrAlN沉积层中Cr和N含量随着与CrAlN涂层的表层距离增加而降低, Al含量则是从CrAlN涂层的表层向TA15合金方向先增加后减小。
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