[发明专利]一种原子能谱测量系统和测量方法在审
| 申请号： | 201910526591.9 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110161554A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 程健;王梦永;翟红雨 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01T1/36 | 分类号： | G01T1/36 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杨华 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种原子能谱测量系统和测量方法，包括等离子体发生器、准直单元、电子枪、收集单元和测量单元；等离子体发生器用于产生等离子体，等离子体经过中性化板后生成原子束；准直单元用于对原子束进行准直；电子枪用于发射纳秒级脉冲宽度的电子束，以使电子束轰击准直后的原子束，并使原子束离化成离子；收集单元用于收集离子；测量单元用于测量得到收集单元的电流‑时间信号，并根据电流‑时间信号得到原子束的能谱信息。本发明中，采用纳秒级脉冲宽度的电子束作为电离源，由于电子和离子的生成时间很短，在收集单元的接收端口根本来不及形成等离子体，因此，不会产生等离子体空间电位和鞘层，从而提高了原子能谱的测量准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 原子束 收集单元 等离子体 测量 电子束 离子 等离子体发生器 纳秒级脉冲 测量单元 测量系统 时间信号 准直单元 电子枪 等离子体空间电位 电子束轰击 接收端口 中性化板 准确度 电离源 离化 能谱 鞘层 准直 发射 | ||
【主权项】：
1.一种原子能谱测量系统，其特征在于，包括等离子体发生器、准直单元、电子枪、收集单元和测量单元；所述等离子体发生器用于产生等离子体，所述等离子体经过中性化板后生成中性的原子束；所述准直单元位于所述原子束的传输路径上，所述准直单元包括至少两级准直器，所述至少两级准直器依次设置在所述原子束的传输路径上，用于对所述原子束进行准直；所述电子枪用于发射纳秒级脉冲宽度的电子束，所述电子束的传输方向与所述经过准直后的原子束的传输方向垂直，以使所述电子束轰击所述准直后的原子束，并使所述原子束离化成为离子；所述收集单元用于收集所述离子；所述测量单元用于测量得到所述收集单元的电流‑时间信号，并根据所述电流‑时间信号得到所述原子束的能谱分布和密度信息。
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