[发明专利]集成加热型锗波导热光调制器结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201910526911.0 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN112099246B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 郑军;牛超群;刘智;左玉华;薛春来;成步文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李佳 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成加热型锗波导热光调制器结构及其制备方法，其结构包括：衬底；本征锗薄膜，位于所述衬底上；掺杂锗薄膜层，位于本征锗薄膜上；其中，所述本征锗薄膜和掺杂锗薄膜层组成的外延层上刻蚀有：第一锗波导、光分束器、第二锗波导、第三锗波导、光合束器和第四锗波导。本发明实现了光子传输和载流子输运的空间分离，有效提高了加热效率并且降低了传输损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 加热 波导 调制器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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