[发明专利]敏感膜和传力导杆一体化的微力传感器及其加工方法有效
| 申请号： | 201910527313.5 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110207864B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;金敏慧;王欢;张成功;王洁;蔡金东 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 201418 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种敏感膜和传力导杆一体化的微力传感器，包括固定连接的敏感膜和传力导杆，敏感膜包括基板、设于基底中心位置的中心板、连接于基板和中心板之间的悬臂梁、设于悬臂梁上的压敏电阻，基板上设有与压敏电阻位置匹配的接触孔，金属引线与压敏电阻在接触孔内形成欧姆接触，并组成惠斯登电桥；中心板一体连接传力导杆。与现有技术相比，本发明具有制备简便、成本低、测量误差小、方便安装等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 敏感 传力导杆 一体化 传感器 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种敏感膜和传力导杆一体化的微力传感器，包括敏感膜，该敏感膜包括中心板(5)、连接于所述中心板(5)四周的悬臂梁、设于所述悬臂梁(4)上的压敏电阻(2)，金属引线将所述压敏电阻相互连接形成惠斯登电桥；其特征在于，还包括与所述中心板(5)一体连接的传力导杆(1)。
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