[发明专利]一种MEMS V型梁的形变分析方法有效
| 申请号： | 201910527354.4 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110334418B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 韩磊;秦瑞洁 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G06F30/17 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种MEMS V型梁的形变分析方法，其特征在于，包括以下步骤：建立基于MEMS V型梁结构受到加速度冲击载荷作用后的冲击形变模型；所述MEMS受到加速度载荷冲击后，基于冲击形变模型，获取MEMS V型梁内部应力,建立内部应力模型；获取MEMS V型梁由于内部应力作用而产生的应变，建立应变模型；获取MEMS V型梁由于应变而产生的形变，建立形变模型。与现有技术相比，本发明首次提出了基于加速度冲击载荷作用下的形变模型，实现了对受到冲击后MEMS V型梁结构形变的影响分析，实现了对MEMS V型梁受到冲击后产生宏观形变的预测，填补了国内外对MEMS V型梁结构受到加速度冲击载荷作用后发生形变的空白。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 形变 分析 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS V型梁的形变分析方法，其特征在于，包括以下步骤：建立基于MEMS V型梁结构受到加速度冲击载荷作用后的冲击形变模型；所述MEMS受到加速度载荷冲击后，基于冲击形变模型，获取MEMS V型梁内部应力,建立内部应力模型；获取MEMS V型梁由于内部应力作用而产生的应变，建立应变模型；获取MEMS V型梁由于应变而产生的形变，建立形变模型。
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