[发明专利]一种阴极结构、电化学抛光槽及电化学抛光设备

摘要

本发明提供了一种阴极结构、电化学抛光槽及电化学抛光设备，该阴极结构包括至少一第一阴极部和至少一第二阴极部，所述第一阴极部与所述第二阴极部相连，所述第一阴极部与所述第二阴极部用于抛光工件的表面。该电化学抛光槽包括上述的阴极结构，该电化学抛光设备包括上述的电化学抛光槽。本发明可以使得工件的内表面与外表面都能达到良好的抛光效果，以提高工件内外表面的外观质量，此外，本发明提供的组合结构式的阴极结构相比于传统的单一结构式的阴极结构，能够精细地调整工件与阴极结构之间的间距，从而使得具有复杂结构的工件达到比较好的抛光效果。