[发明专利]双(二氮杂二烯)钴化合物及其制备方法和使用方法有效
| 申请号： | 201910528696.8 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110615746B | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | A·C·库珀;S·V·伊瓦诺维;C·D·霍普金斯;金武性 | 申请（专利权）人： | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
| 主分类号： | C07C251/04 | 分类号： | C07C251/04;C07C249/02;C23C16/18;C23C16/04;B65D25/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华;徐志明 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述了钴化合物、用于制备钴化合物的方法、用作沉积含钴膜(例如，钴、氧化钴、氮化钴、硅化钴等)的前体的钴化合物和钴膜。钴前体化合物的实例是双(二氮杂二烯)钴化合物。用于沉积含金属膜的表面的实例包括但不限于金属、金属氧化物、金属氮化物和金属硅酸盐；硅、氧化硅和氮化硅。烷基化二氮杂二烯配体用于形成钴配合物，其用于在某些表面上的选择性沉积和/或优异的膜性质，例如均匀性、连续性和低电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 二氮杂二烯 化合物 及其 制备 方法 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种双(二氮杂二烯)钴化合物，其具有选自以下的结构：/n(a)/n
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