[发明专利]一种射频多微束等离子体放电装置在审
| 申请号： | 201910530535.2 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN110248458A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 高飞;王友年 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张琳丽 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种射频多微束等离子体放电装置，包括金属真空腔室、电极和若干个石英管，若干个石英管的顶部开设有与进气管连通的进气口，底部与金属真空腔室连通，电极包括从上至下间隔套设在石英管外侧的高压电极和地电极；高压电极和地电极相对的面均为锥形结构，各个石英管之间通过高压连接结构呈星型放射状对称分布，高压连接结构与射频功率源相连接；若干个石英管与电极均被包裹在射频屏蔽箱内。本发明的射频多微束等离子体放电装置，解决了一套射频电源和匹配网络只能控制单微束等离子体放电管、初始等离子体建立困难和用起辉棒建立初始等离子体带来的金属溅射污染等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 石英管 微束 等离子体放电装置 电极 射频 等离子体 金属真空腔 高压电极 高压连接 地电极 连通 进气口 放射状对称分布 等离子体放电 射频功率源 从上至下 金属溅射 匹配网络 射频电源 射频屏蔽 锥形结构 间隔套 进气管 起辉 星型 污染 | ||
【主权项】：
1.一种射频多微束等离子体放电装置，其特征在于：包括金属真空腔室、电极和若干个石英管，若干个所述石英管的顶部开设有与进气管连通的进气口，底部与所述金属真空腔室连通，所述电极包括从上至下间隔套设在所述石英管外侧的高压电极和地电极；所述高压电极和地电极相对的面均为锥形结构，各个所述石英管之间通过高压连接结构呈星型放射状对称分布，所述高压连接结构与射频功率源相连接；若干个所述石英管与所述电极均被包裹在射频屏蔽箱内。
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