[发明专利]一种机械手有效
| 申请号： | 201910530657.1 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN110370310B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 王冲;傅立超 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/10 | 分类号： | B25J15/10;B25J11/00 |
| 代理公司： | 宁波高新区永创智诚专利代理事务所(普通合伙) 33264 | 代理人： | 付帅 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种机械手，包括Z轴主支架、连接支架、第一底板、旋转装置和手指伸出装置；所述连接支架通过上下滑动装置可上下滑动的设置在所述Z轴主支架一侧；所述第一底板固定安装在所述连接支架上；所述旋转装置可旋转的设置在所述第一底板上；若干所述手指伸出装置设置在所述旋转装置上，所述手指伸出装置用于夹取晶圆。本发明设置有多个手指，可以完全实现干湿分离，避免交叉污染，功能多样，能实现上下滑动、旋转以及手指伸缩，便于机械手在狭小的半导体设备内实现多种动作，从而提高工作效率，优化半导体设备使用空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 | ||
【主权项】：
1.一种机械手，其特征在于：包括Z轴主支架(1)、连接支架(2)、第一底板(3)、旋转装置(4)和手指伸出装置(5)；所述连接支架(2)通过上下滑动装置可上下滑动的设置在所述Z轴主支架(1)一侧；所述第一底板(3)固定安装在所述连接支架(2)上；所述旋转装置(4)可旋转的设置在所述第一底板(3)上；若干所述手指伸出装置(5)设置在所述旋转装置(4)上，所述手指伸出装置(5)用于夹取晶圆(6)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波润华全芯微电子设备有限公司，未经宁波润华全芯微电子设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910530657.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种皮带式双轴机械手
- 下一篇：机械手臂臂膀连接机构
