[发明专利]一种用于气体传感的气室结构及其制造方法在审
申请号: | 201910531163.5 | 申请日: | 2019-06-19 |
公开(公告)号: | CN110132878A | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 陶光明;徐文鑫;任志禾 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G01N21/3504 | 分类号: | G01N21/3504 |
代理公司: | 湖北高韬律师事务所 42240 | 代理人: | 罗凡 |
地址: | 430070 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供了一种用于气体传感的气室结构及其制造方法,其包括:外包层(1)、反射层(2)和空芯结构(3)。所述外包层位于最外层,所述外包层为聚合物外包层。所述反射层为全向反射层,所述全向反射层位于所述聚合物外包层内侧。所述全向反射层的内侧为所述空芯结构,所述空芯结构为供光和气体传输的中空通道。本发明提供的气室结构,能解决现有金属气室的笨重、体积过大、难以耦合、无法微型化的问题以及现有光纤型气室的机械性能差、脆弱、材料单一、无法覆盖红外波段的缺点。同时,通过热蒸镀法、薄膜卷绕法、热拉制法与涂覆法的工艺制备柔性、低损耗、易耦合的微型化用于气体传感的气室结构。 | ||
搜索关键词: | 反射层 气室结构 空芯结构 气体传感 外包层 全向 聚合物外包层 微型化 机械性能 薄膜卷绕 工艺制备 红外波段 金属气室 气体传输 中空通道 拉制 耦合 低损耗 光纤型 热蒸镀 涂覆法 最外层 耦合的 供光 气室 制造 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种用于气体传感的气室结构,其特征在于,包括:外包层(1)、反射层(2)和空芯结构(3);所述外包层位于最外层,所述外包层为聚合物外包层,所述反射层为全向反射层,所述全向反射层位于所述聚合物外包层内侧,所述全向反射层的内侧为所述空芯结构,所述空芯结构为供光和气体传输的中空通道。
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