[发明专利]叠层柔性衬底及其制备方法、发光二极管

摘要

本发明提供了一种叠层柔性衬底，包括聚合物底层以及设置在所述聚合物底层上的第一绝缘层，且所述第一绝缘层的材料为无机氧化物。本发明提供的叠层柔性衬底，一方面，所述无机氧化物材料的绝缘层能够隔绝水氧，降低水蒸气和氧气的渗透率，延长在叠层柔性衬底上形成的器件的使用寿命；另一方面，无机氧化物在成膜过程中能够自动填充聚合物底层的孔隙，降低聚合物底层的表面粗糙度，提高叠层柔性衬底表面膜层的成膜性能，进而减少形成在叠层柔性衬底表面的膜层的缺陷，提高在叠层柔性衬底上形成的器件的性能。