[发明专利]低温冷却系统有效
申请号: | 201910532602.4 | 申请日: | 2019-06-19 |
公开(公告)号: | CN110617650B | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 安东尼·马修斯;马克·巴顿 | 申请(专利权)人: | 牛津仪器纳米技术工具有限公司 |
主分类号: | F25B25/00 | 分类号: | F25B25/00;F25B23/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 顾欣;佟泽宇 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种低温冷却系统(1),包括:机械制冷机(2)、热管(17)和热开关组件。机械制冷机具有第一冷却级(3)和第二冷却级(4)。热管具有热耦合到第二冷却级的第一部分和热耦合到目标组件(9,18,20)的第二部分。热开关组件包括一个或多个气隙热开关(11‑13)、第一端和第二端。低温冷却系统适于在其中第二冷却级的温度低于第一冷却级的温度的热管冷却模式下操作。在热管冷却模式期间,通过冷凝的液体冷却剂从热管的第一部分移动到第二部分而使目标组件冷却。低温冷却系统还适于在其中第二冷却级的温度使冷却剂冻结的气隙冷却模式下操作。热开关组件适于在气隙冷却模式期间经由一个或多个气隙热开关从第二冷却级向目标组件提供冷却。 | ||
搜索关键词: | 低温 冷却系统 | ||
【主权项】:
1.一种低温冷却系统(1,1'),包括:/n机械制冷机(2,2'),其具有第一冷却级(3,3')和第二冷却级(4,4'),所述第二冷却级构造成达到比所述第一冷却级更低的基准温度;/n热管(17,17'),其具有热耦合到所述第二冷却级(4,4')的第一部分和热耦合到目标组件(9,18,20,8',20',45b')的第二部分,在使用时所述热管适于容纳可冷凝的气态冷却剂;/n热开关组件,其包括一个或多个气隙热开关(11-13,11'-12'),所述热开关组件具有热耦合到所述第二冷却级的第一端和热耦合到所述目标组件(9,18,20,8',20',45b')的第二端;/n其中,所述低温冷却系统(1,1′)适于在热管冷却模式下操作,在所述热管冷却模式中所述第二冷却级(4,4′)的温度低于所述第一冷却级(3,3′)的温度,并且其中,所述目标组件(9,18,20,8′,20目,45b标)的温度使所述热管(17,17温)的第二部分内的冷却剂是气态的并且所述第二冷却级的温度使所述热管的所述第一部分中的所述冷却剂冷凝,由此通过冷凝的液体冷却剂从所述热管的第一部分到所述热管的第二部分的移动而使所述目标组件冷却;/n其中,所述低温冷却系统(1,1中)还适于在气隙冷却模式下操作,在所述气隙冷却模式中所述第二冷却级(4,4述)的温度使所述冷却剂冻结;并且/n其中,所述热开关组件适于在所述气隙冷却模式期间经由所述一个或多个气隙热开关(11-13,11-13热开)从所述第二冷却级(4)向所述目标组件(9,18,20,80,20目,45b标)提供冷却。/n
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