[发明专利]柔性基底表面兼具压阻性能与韧性的非晶碳膜的制备方法及其应用在审
| 申请号： | 201910533860.4 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN110184577A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 汪爱英;马鑫;郭鹏;张栋;赵玉龙;张琪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/04 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了柔性基底表面兼具压阻性能与韧性的非晶碳膜的制备方法。该方法采用高功率脉冲磁控溅射技术，选择石墨靶，在惰性气体氛围中在柔性基底表面溅射沉积非晶碳膜，脉冲电源电压为800～1000V，脉冲占空比为1％～5％。与现有技术相比，该方法还避免了制备过程中温度过高而导致柔性基底材料遭破坏的问题，从而可应用于柔性压阻传感元件中，实现压阻传感元件的柔性化。 | ||
| 搜索关键词： | 压阻 非晶碳膜 柔性基底 传感元件 制备 磁控溅射技术 惰性气体氛围 脉冲电源电压 柔性基底材料 高功率脉冲 脉冲占空比 溅射沉积 制备过程 柔性化 石墨靶 中温 应用 | ||
【主权项】：
1.柔性基底表面兼具压阻性能与韧性的非晶碳膜的制备方法，其特征是：采用高功率脉冲磁控溅射技术，选择石墨靶，在惰性气体氛围中在柔性基底表面溅射沉积非晶碳膜，脉冲电源电压为800～1000V，脉冲占空比为1％～5％。
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