[发明专利]一种激光直接成像设备对准相机位置关系误差的测量方法有效
| 申请号： | 201910534115.1 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110275399B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 尤勇;严孝年 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光直接成像设备对准相机位置关系误差的测量方法，包括建立激光直接成像设备基础台面的直角坐标系；在基础台面上放置尺寸标定板，该尺寸标定板布置有至少三个MARK点，其中有三个MARK点构成的直角三角形；利用左对准相机和右对准相机测量构成直角三角形的MARK点的中心坐标；以左对准相机或右对准相机为基准相机，利用所测MARK点的中心坐标计算两对准相机的位置关系误差。本发明解决了两相机距离较远无法标定位置关系的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 直接 成像 设备 对准 相机 位置 关系 误差 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光直接成像设备对准相机位置关系误差的测量方法，其特征在于，包括：建立激光直接成像设备基础台面的直角坐标系；在所述基础台面上放置尺寸标定板，该尺寸标定板布置有至少三个MARK点，其中有三个MARK点构成的直角三角形；利用左对准相机和右对准相机测量构成直角三角形的MARK点的中心坐标；以左对准相机或右对准相机为基准相机，利用所测MARK点的中心坐标计算两对准相机的位置关系误差。
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