[发明专利]一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法在审
| 申请号： | 201910534138.2 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110308620A | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 尤勇;严孝年 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法，该方法首先在激光直接成像设备的基础台面（吸盘）上设置两个圆形的MARK1和MARK2，并且使激光直接成像设备中的左侧对准相机和右侧对准相机分别可以移动到MARK1和MARK2的中心位置处，然后通过计算MARK1和MARK2在X方向上和Y方向上的间距，并分别采用左侧对准相机和右侧对准相机测量MARK1和MARK2的中心坐标，最后再根据计算出的间距和测量出的中心坐标值，准确测量出两个对准相机之间的位置误差。本发明对对准相机的安装位置没有限定，有效解决了两个对准相机距离远就无法快速标定位置关系的问题，具有方法简单快速、准确度高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 相机 激光直接成像 设备对准 相机位置 自动标定 测量 吸盘 中心位置处 标定位置 基础台面 位置误差 有效解决 中心坐标 准确测量 准确度 移动 | ||
【主权项】：
1.一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：（1）建立激光直接成像设备的基础台面的直角坐标系；（2）在基础台面上粘贴圆形MARK1，使激光直接成像设备中左侧的对准相机可以移动到该MARK1的中心处；设MARK1中心的坐标为（X1，Y1）；（3）在基础台面上粘贴圆形MARK2，使激光直接成像设备中右侧的对准相机可以移动到该MARK2的中心处；设MARK2中心的坐标为（X2，Y2）；（4）计算MARK1与MARK2在X方向上的间距DX=X2－X1；（5）计算MARK1与MARK2在Y方向上的间距DY=Y2－Y1；（6）采用激光直接成像设备中左侧的对准相机测量MARK1中心的坐标（X1′，Y1′）；（7）采用激光直接成像设备中右侧的对准相机测量MARK2中心的坐标（X2′，Y2′）；（8）采用公式EX= X2′－X1′－DX计算激光直接成像设备中左侧对准相机与右侧对准相机在X方向上的位置关系误差EX；（9）采用公式EY= Y2′－Y1′－DY计算激光直接成像设备中左侧对准相机与右侧对准相机在Y方向上的位置关系误差EY。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥芯碁微电子装备有限公司，未经合肥芯碁微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910534138.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
