[发明专利]一种应用于溅镀设备中的夹持装置和溅镀设备有效
| 申请号： | 201910534657.9 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110172667B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 谭伟;李金川 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种应用于溅镀设备中的夹持装置和溅镀设备，夹持装置包括：夹具，用于将基板和掩膜版对应夹紧；与夹具连接的驱动装置，用于驱动夹具夹紧或松开；其中，夹具上设有与掩膜版的开口的形状和大小相匹配的开口，以在夹具夹紧掩膜版和基板后，夹具靠近掩膜版的一侧在基板上的正投影完全覆盖掩膜版在基板上的正投影，且夹具的开口与掩膜版的开口对位连通，裸露出基板的溅镀区域，以供溅镀设备对基板的溅镀区域进行溅镀。本申请可以避免基板溅镀成膜过程中掩膜版上也被溅镀的膜层覆盖，从而避免了掩膜版翘曲变形、掩膜版上溅镀的膜层脱落污染溅镀腔室以及基板成膜出现阴影的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 设备 中的 夹持 装置 | ||
【主权项】：
1.一种应用于溅镀设备中的夹持装置，其特征在于，包括：夹具，用于将基板和掩膜版对应夹紧；驱动装置，与所述夹具连接，用于驱动所述夹具夹紧或松开；所述夹具上设有与所述掩膜版的开口的形状和大小相匹配的开口，以在所述夹具夹紧所述掩膜版和基板后，所述夹具靠近所述掩膜版的一侧在所述基板上的正投影完全覆盖所述掩膜版在所述基板上的正投影，且所述夹具的开口与所述掩膜版的开口对位连通，裸露出所述基板的溅镀区域，以供溅镀设备对所述基板的溅镀区域进行溅镀。
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