[发明专利]一种电子封装用的压力自控装置有效

专利信息
申请号: 201910534841.3 申请日: 2019-06-20
公开(公告)号: CN110289223B 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 张帆 申请(专利权)人: 万金芬
主分类号: H01L21/603 分类号: H01L21/603
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 317103 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及集成电路设备技术领域,且公开了一种电子封装用的压力自控装置,包括传送装置,传送装置的顶端放置有基板,基板的顶部设有芯片,且芯片的顶端设有负压吸盘,负压吸盘的内部连通有气路接头,且气路接头的顶端通过固定连杆与自控装置的内部固定连接,自控装置外部的一侧设有驱动模块Ⅰ。该电子封装用的压力自控装置,通过自控装置的设置,利用承重砝码及其自身的重力来调整芯片与基板之间的压力,与现有的压力控制系统相比,该压力控制装置不存在反馈时间,压力的大小控制的较为精准,有效的降低了芯片在装贴时的损坏率,同时整个装置结构简单,操控灵活,降低了该贴片机压力控制装置的配置成本及日常的维护成本。
搜索关键词: 一种 电子 封装 压力 自控 装置
【主权项】:
1.一种电子封装用的压力自控装置,包括传送装置(1),其特征在于:所述传送装置(1)的顶端放置有基板(2),所述基板(2)的顶部设有芯片(3),且芯片(3)的顶端设有负压吸盘(4),所述负压吸盘(4)的内部连通有气路接头(5),且气路接头(5)的顶端通过固定连杆(6)与自控装置(7)的内部固定连接,所述自控装置(7)外部的一侧设有驱动模块Ⅰ(8),且驱动模块Ⅰ(8)一侧的中部设有驱动模块Ⅱ(9)。
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