[发明专利]一种电子封装用的压力自控装置有效
申请号: | 201910534841.3 | 申请日: | 2019-06-20 |
公开(公告)号: | CN110289223B | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 张帆 | 申请(专利权)人: | 万金芬 |
主分类号: | H01L21/603 | 分类号: | H01L21/603 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 317103 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及集成电路设备技术领域,且公开了一种电子封装用的压力自控装置,包括传送装置,传送装置的顶端放置有基板,基板的顶部设有芯片,且芯片的顶端设有负压吸盘,负压吸盘的内部连通有气路接头,且气路接头的顶端通过固定连杆与自控装置的内部固定连接,自控装置外部的一侧设有驱动模块Ⅰ。该电子封装用的压力自控装置,通过自控装置的设置,利用承重砝码及其自身的重力来调整芯片与基板之间的压力,与现有的压力控制系统相比,该压力控制装置不存在反馈时间,压力的大小控制的较为精准,有效的降低了芯片在装贴时的损坏率,同时整个装置结构简单,操控灵活,降低了该贴片机压力控制装置的配置成本及日常的维护成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子 封装 压力 自控 装置 | ||
【主权项】:
1.一种电子封装用的压力自控装置,包括传送装置(1),其特征在于:所述传送装置(1)的顶端放置有基板(2),所述基板(2)的顶部设有芯片(3),且芯片(3)的顶端设有负压吸盘(4),所述负压吸盘(4)的内部连通有气路接头(5),且气路接头(5)的顶端通过固定连杆(6)与自控装置(7)的内部固定连接,所述自控装置(7)外部的一侧设有驱动模块Ⅰ(8),且驱动模块Ⅰ(8)一侧的中部设有驱动模块Ⅱ(9)。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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